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項目簡訊|廈門某半導體企業有機廢氣處理項目

由我公司中標承建的廈門某半導體企業有機廢氣處理項目，已經順利完成建設和調試，于2024年9月正式投入運行。該項目是我司首個半導體行業廢氣治理項目，由我司全面負責從設計、采購、制造到安裝、調試及售后服務等各個環節，確保了整個過程的專業性和高效性。項目的順利竣工標志著我司在環保技術領域的又一重要突破。


治理工藝

項目廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴散等工藝。有機廢氣成分復雜，包含異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等，并含有少量高沸點物質和含硅有機物。為了有效應對上述廢氣問題，本項目采用“高效過濾+沸石轉輪吸附+TO”工藝進行治理。本工藝廢氣處理效率超過95%，同時具有安全性高、運行穩定、運行成本及故障率低、自動化程度高、運行管理方便等優點。

治理效果

2024年9月有機廢氣凈化系統開始切入使用，投入既達滿產狀態。設備運行穩定，處理效果良好，煙囪出口在線檢測系統所測得的非甲烷總烴濃度在5~10mg/m3范圍內，滿足 《廈門市大氣污染物排放標準》 （DB35/323-2018）中表1的排放標準。

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